一、管式擴(kuò)散爐用途
管式擴(kuò)散爐是我公司根據(jù)客戶需求個(gè)性化定制的高溫?zé)崽幚碓O(shè)備，用于大規(guī)模集成電路、分立器件、電力電子、光電器件、光導(dǎo)纖維等行業(yè)中進(jìn)行擴(kuò)散、氧化、退火、合金及燒結(jié)等工藝，我公司的高溫電爐關(guān)鍵部件全部采用進(jìn)口部件，仿國外熱處理制造技術(shù)，已經(jīng)被中科院、國內(nèi)各大院校、國內(nèi)多家廠家選為長(zhǎng)期供貨商，團(tuán)隊(duì)設(shè)計(jì)制造，可根據(jù)客戶不同需求定制，廠家直接供貨，質(zhì)優(yōu)價(jià)廉。
 

二、管式擴(kuò)散爐特點(diǎn)  

◆軟著陸載片裝置

軟著陸送料裝置，避免了SiC槳的遮擋影響，提高了擴(kuò)散均勻性，同時(shí)槳的清洗周期大幅度延長(zhǎng)。

◆溫度控制

新型爐體設(shè)計(jì)，提高了溫度穩(wěn)定性；配合溫控儀的使用，保證工藝過程中溫度的快速穩(wěn)定。

◆進(jìn)口元器件組合

關(guān)鍵件采用進(jìn)口管件，且為半導(dǎo)體級(jí)別；的元器件組合，從而保證成膜質(zhì)量。
         

三、管式擴(kuò)散爐主要技術(shù)參數(shù)                             

◆工藝管數(shù)量：1-4管

◆工藝管口徑：Φ90-360mm（3～12英寸）

◆工作溫度范圍：400～1280℃

◆恒溫區(qū)長(zhǎng)度及精度±0.5℃/1080mm

◆工藝均勻性:≤±5％（30~60歐姆）

◆氣體流量設(shè)定精度:±1％F.S

◆氣路系統(tǒng)氣密性： 1×10-7pa.m3/s

◆超凈工作臺(tái)：凈化等級(jí)：100級(jí)（萬級(jí)廠房） 噪音：≤62dB（A） 震動(dòng)：≤3μm

◆控制方式： 工業(yè)微機(jī)控制

◆記錄工藝曲線數(shù)量及工藝步數(shù)不受限制

我公司可根據(jù)客戶要求，定制各式擴(kuò)散爐、退火爐、燒結(jié)爐、真空焊接爐、CVD

爐、加熱電爐及加熱裝置等，歡迎廣大客戶來電咨詢。